تترا فلوراید کربن (CF4)

توضیحات کوتاه:

تترا فلوراید کربن که با نام تترافلورومتان نیز شناخته می شود، گازی بی رنگ در دما و فشار معمولی است که در آب نامحلول است. گاز CF4 در حال حاضر پرمصرف ترین گاز اچینگ پلاسما در صنعت میکروالکترونیک است. همچنین به عنوان گاز لیزر، مبرد برودتی، حلال، روان کننده، مواد عایق و خنک کننده برای لوله های آشکارساز مادون قرمز استفاده می شود.

برای ما ایمیل بفرستید دانلود به pdf

جزئیات محصول

برچسب های محصول

پارامترهای فنی

مشخصات	99.999٪
اکسیژن + آرگون	≤1ppm
نیتروژن	≤4ppm
رطوبت (H2O)	≤3 پی پی ام
HF	≤0.1 ppm
CO	≤0.1 ppm
CO2	≤1 ppm
SF6	≤1 ppm
هالوکاربین ها	≤1 ppm
کل ناخالصی ها	≤10ppm

تترا فلوراید کربن یک هیدروکربن هالوژنه با فرمول شیمیایی CF4 است. می توان آن را به عنوان یک هیدروکربن هالوژنه، متان هالوژنه، پرفلوئوروکربن یا به عنوان یک ترکیب معدنی در نظر گرفت. تترا فلوراید کربن گازی بی رنگ و بی بو، نامحلول در آب، محلول در بنزن و کلروفرم است. پایدار در دما و فشار معمولی، از اکسیدان های قوی، مواد قابل اشتعال یا احتراق اجتناب کنید. گاز غیر قابل احتراق، فشار داخلی ظرف در اثر حرارت زیاد افزایش می یابد و خطر ترک خوردن و انفجار وجود دارد. از نظر شیمیایی پایدار و غیر قابل اشتعال است. فقط معرف مایع آمونیاک-سدیم فلزی می تواند در دمای اتاق کار کند. تترا فلوراید کربن گازی است که باعث ایجاد اثر گلخانه ای می شود. بسیار پایدار است، می تواند برای مدت طولانی در جو بماند و یک گاز گلخانه ای بسیار قوی است. تترا فلوراید کربن در فرآیند اچ پلاسما در مدارهای مجتمع مختلف استفاده می شود. همچنین به عنوان گاز لیزری استفاده می شود و در مبردهای با دمای پایین، حلال ها، روان کننده ها، مواد عایق و خنک کننده برای آشکارسازهای مادون قرمز استفاده می شود. این گاز پرمصرف ترین گاز حکاکی پلاسما در صنعت میکروالکترونیک است. این مخلوطی از گاز تترا فلورومتان با خلوص بالا و گاز تترا فلورومتان با خلوص بالا و اکسیژن با خلوص بالا است. می توان آن را به طور گسترده در سیلیکون، دی اکسید سیلیکون، نیترید سیلیکون و شیشه فسفوسیلیکات استفاده کرد. اچ کردن مواد فیلم نازک مانند تنگستن و تنگستن نیز به طور گسترده در تمیز کردن سطح دستگاه های الکترونیکی، تولید سلول های خورشیدی، فناوری لیزر، تبرید در دمای پایین، بازرسی نشت و مواد شوینده در تولید مدار چاپی استفاده می شود. به عنوان مبرد با دمای پایین و فناوری اچینگ خشک پلاسما برای مدارهای مجتمع استفاده می شود. اقدامات احتیاطی برای نگهداری: در انبار گاز غیر قابل احتراق خنک و دارای تهویه نگهداری شود. دور از آتش و منابع گرما نگهداری شود. دمای نگهداری نباید بیش از 30 درجه سانتیگراد باشد. باید جدا از مواد قابل احتراق (قابل احتراق) و اکسیدان ها نگهداری شود و از نگهداری مختلط خودداری شود. محل ذخیره سازی باید مجهز به تجهیزات درمان اضطراری نشت باشد.

کاربرد:

① مبرد:

گاهی اوقات از تترافلورومتان به عنوان مبرد با دمای پایین استفاده می شود.

② اچ کردن:

در ریزساخت الکترونیکی به تنهایی یا در ترکیب با اکسیژن به عنوان اچ کننده پلاسما برای سیلیکون، دی اکسید سیلیکون و نیترید سیلیکون استفاده می شود.

بسته معمولی:

محصول	تترا فلوراید کربنCF4
اندازه بسته	سیلندر 40 لیتری	سیلندر 50 لیتری
پر کردن وزن خالص / سیکل	30 کیلوگرم	38 کیلوگرم
QTY در کانتینر 20 بارگیری شده است	250 سیلن	250 سیلن
وزن خالص کل	7.5 تن	9.5 تن
وزن تار سیلندر	50 کیلوگرم	55 کیلوگرم
دریچه	CGA 580