Boron Trichloride (BCL3)یک ترکیب معدنی است که معمولاً در فرآیندهای رسوب خشک و بخار شیمیایی (CVD) در ساخت نیمه هادی مورد استفاده قرار می گیرد. این گاز بی رنگ با بوی تند و تند در دمای اتاق است و به هوای مرطوب حساس است زیرا برای تولید اسید هیدروکلریک و اسید بوریک هیدرولیز می شود.

برنامه های کاربردی Boron Trichloride

در صنعت نیمه هادی ،تریکلرید بورعمدتا برای اچ کردن خشک آلومینیوم و به عنوان یک دوپانت برای تشکیل مناطق از نوع P در ویفرهای سیلیکون استفاده می شود. همچنین می تواند برای استفاده از موادی مانند GAAS ، SI ، ALN و به عنوان منبع بور در برنامه های خاص خاص استفاده شود. علاوه بر این ، تری کلرید بور به طور گسترده در پردازش فلز ، صنعت شیشه ، تجزیه و تحلیل شیمیایی و تحقیقات آزمایشگاهی مورد استفاده قرار می گیرد.

ایمنی تری کلرید بور

تریکلرید بورخورنده و سمی است و می تواند آسیب جدی به چشم و پوست وارد کند. برای آزاد کردن گاز کلرید هیدروژن سمی در هوای مرطوب هیدرولیز می شود. بنابراین ، باید اقدامات ایمنی مناسب در هنگام کار انجام شودتریکلرید بور، از جمله پوشیدن لباس محافظ ، عینک و تجهیزات محافظت از تنفسی و کار در یک محیط با تهویه مناسب.