تری کلرید بور (BCl3)یک ترکیب معدنی است که معمولاً در فرآیندهای حکاکی خشک و رسوب بخار شیمیایی (CVD) در ساخت نیمه‌هادی‌ها استفاده می‌شود. این گاز بی‌رنگ با بوی تند و تیز در دمای اتاق است و به دلیل هیدرولیز شدن و تولید اسید هیدروکلریک و اسید بوریک، به هوای مرطوب حساس است.

کاربردهای تری کلرید بور

در صنعت نیمه‌هادی،تری کلرید بورعمدتاً برای اچینگ خشک آلومینیوم و به عنوان یک ناخالصی برای تشکیل نواحی نوع P روی ویفرهای سیلیکونی استفاده می‌شود. همچنین می‌تواند برای اچینگ موادی مانند GaAs، Si، AlN و به عنوان منبع بور در کاربردهای خاص مورد استفاده قرار گیرد. علاوه بر این، تری کلرید بور به طور گسترده در فرآوری فلزات، صنعت شیشه، تجزیه و تحلیل شیمیایی و تحقیقات آزمایشگاهی مورد استفاده قرار می‌گیرد.

ایمنی تری کلرید بور

تری کلرید بورخورنده و سمی است و می‌تواند آسیب جدی به چشم‌ها و پوست وارد کند. در هوای مرطوب هیدرولیز شده و گاز سمی کلرید هیدروژن آزاد می‌کند. بنابراین، هنگام کار با آن باید اقدامات ایمنی مناسب انجام شود.تری کلرید بوراز جمله پوشیدن لباس محافظ، عینک و تجهیزات حفاظت تنفسی و کار در محیطی با تهویه مناسب.