گاز لیزر

گاز لیزر عمدتاً برای بازپخت لیزری و گاز لیتوگرافی در صنعت الکترونیک استفاده می‌شود. با بهره‌گیری از نوآوری در صفحه نمایش تلفن‌های همراه و گسترش حوزه‌های کاربردی، مقیاس بازار پلی‌سیلیکون دمای پایین بیشتر گسترش خواهد یافت و فرآیند بازپخت لیزری عملکرد TFTها را به طور قابل توجهی بهبود بخشیده است. در میان گازهای نئون، فلوئور و آرگون مورد استفاده در لیزر اگزایمر ArF برای ساخت نیمه‌رساناها، نئون بیش از 96 درصد از مخلوط گاز لیزر را تشکیل می‌دهد. با بهبود فناوری نیمه‌رساناها، استفاده از لیزرهای اگزایمر افزایش یافته است و معرفی فناوری نوردهی دوگانه منجر به افزایش شدید تقاضا برای گاز نئون مصرف شده توسط لیزرهای اگزایمر ArF شده است. تولیدکنندگان داخلی با بهره‌گیری از ترویج بومی‌سازی گازهای تخصصی الکترونیکی، فضای رشد بازار بهتری در آینده خواهند داشت.

دستگاه لیتوگرافی، تجهیزات اصلی تولید نیمه‌هادی است. لیتوگرافی اندازه ترانزیستورها را تعریف می‌کند. توسعه هماهنگ زنجیره صنعت لیتوگرافی، کلید موفقیت دستگاه لیتوگرافی است. مواد نیمه‌هادی منطبق مانند فوتورزیست، گاز فوتولیتوگرافی، ماسک نوری و تجهیزات پوشش‌دهی و ظهور، محتوای فناوری بالایی دارند. گاز لیتوگرافی، گازی است که دستگاه لیتوگرافی با آن لیزر فرابنفش عمیق تولید می‌کند. گازهای لیتوگرافی مختلف می‌توانند منابع نوری با طول موج‌های مختلف تولید کنند و طول موج آنها مستقیماً بر وضوح دستگاه لیتوگرافی که یکی از هسته‌های دستگاه لیتوگرافی است، تأثیر می‌گذارد. در سال 2020، کل فروش جهانی دستگاه‌های لیتوگرافی 413 دستگاه خواهد بود که از این تعداد، فروش ASML، 258 دستگاه، 62 درصد، فروش کانن، 122 دستگاه، 30 درصد و فروش نیکون، 33 دستگاه، 8 درصد را تشکیل می‌دهد.