گاز لیزر

گاز لیزر عمدتاً برای آنیل لیزری و گاز لیتوگرافی در صنعت الکترونیک استفاده می شود. با بهره مندی از نوآوری صفحه نمایش تلفن های همراه و گسترش حوزه های کاربردی، مقیاس بازار پلی سیلیکون با دمای پایین بیشتر گسترش خواهد یافت و فرآیند آنیل لیزری عملکرد TFT ها را به طور قابل توجهی بهبود بخشیده است. در میان گازهای نئون، فلوئور و آرگون که در لیزر اگزایمر ArF برای ساخت نیمه هادی ها استفاده می شود، نئون بیش از 96 درصد از مخلوط گاز لیزر را تشکیل می دهد. با اصلاح فناوری نیمه هادی، استفاده از لیزرهای اگزایمر افزایش یافته است و معرفی فناوری نوردهی دوگانه منجر به افزایش شدید تقاضا برای گاز نئون مصرف شده توسط لیزرهای اکسایمر ArF شده است. با بهره مندی از ترویج بومی سازی گازهای تخصصی الکترونیکی، تولیدکنندگان داخلی فضای رشد بازار بهتری در آینده خواهند داشت.

دستگاه لیتوگرافی تجهیزات اصلی تولید نیمه هادی است. لیتوگرافی اندازه ترانزیستورها را مشخص می کند. توسعه هماهنگ زنجیره صنعت لیتوگرافی کلید دستیابی به موفقیت دستگاه لیتوگرافی است. مواد نیمه هادی منطبق مانند مقاومت نوری، گاز فوتولیتوگرافی، ماسک نوری، و پوشش و تجهیزات در حال توسعه دارای محتوای تکنولوژیکی بالایی هستند. گاز لیتوگرافی گازی است که دستگاه لیتوگرافی لیزر فرابنفش عمیق تولید می کند. گازهای مختلف لیتوگرافی می توانند منابع نوری با طول موج های مختلف تولید کنند و طول موج آنها مستقیماً بر وضوح دستگاه لیتوگرافی که یکی از هسته های دستگاه لیتوگرافی است تأثیر می گذارد. در سال 2020، مجموع فروش جهانی دستگاه های لیتوگرافی 413 دستگاه خواهد بود که 258 دستگاه ASML 62 درصد، فروش 122 دستگاه کانن 30 درصد و نیکون فروش 33 دستگاه، 8 درصد را به خود اختصاص داده است.