کلرید هیدروژنیک گاز بی رنگ با بوی تند است. محلول آبی آن اسید هیدروکلریک نامیده می شود ، همچنین به عنوان اسید هیدروکلریک شناخته می شود. کلرید هیدروژن در آب بسیار محلول است. در دمای 0 درجه سانتیگراد ، 1 حجم آب می تواند حدود 500 حجم کلرید هیدروژن را حل کند.

این خصوصیات و خصوصیات زیر را دارد:

1. خلوص بالا

خلوص درجه الکترونیکیکلرید هیدروژنبسیار زیاد است ، معمولاً در PPM یا سطح پایین تر ، تا اطمینان حاصل شود که هیچ ناخالصی در فرآیند تولید نیمه هادی وارد نمی شود.

2 بی تحرکی

این یک گاز بی اثر شیمیایی است که با بسیاری از مواد دیگر واکنش نشان نمی دهد ، که برای جلوگیری از آلودگی مواد و تجهیزات نیمه هادی بسیار مهم است.

3. ثبات بالا

درجه الکترونیکیکلرید هیدروژنبه طور کلی برای اطمینان از پردازش نیمه هادی قابل اعتماد از شیمی پایدار برخوردار است.

در پردازش نیمه هادی ، کاربردهای اصلی کلرید هیدروژن درجه الکترونیکی شامل موارد زیر است:

1. تمیز کردن و آماده سازی سطح

به عنوان یک سطح تمیز کننده سطح کارآمد ، درجه الکترونیکیکلرید هیدروژنبرای از بین بردن اکسیدها و ناخالصی ها از سطح بستر استفاده می شود تا از کیفیت و خلوص لایه یا فیلم اپیتاکسیال اطمینان حاصل شود.

کمک به رشد پیتاکسیال

به عنوان یک عامل تصفیه سطح در فرآیند اپیتاکسیال مورد استفاده قرار می گیرد ، به بهبود کیفیت لایه اپیتاکسیال ، بهبود تطبیق شبکه و کاهش شکل گیری نقایص شبکه کمک می کند.

3. پیش درمانی بستر

قبل از تهیه دستگاه های نیمه هادی ، درجه الکترونیکیکلرید هیدروژنمی توان برای درمان سطح بستر برای تشکیل یک پایه پایدار برای بهبود چسبندگی بین لایه اپی توپیال و بستر استفاده کرد.

4. عامل کمکی سپرده گذاری

در فرآیند رسوب بخار شیمیایی (CVD) یا رسوب بخار فیزیکی (PVD) ، کلرید هیدروژن درجه الکترونیکی می تواند به عنوان یک محیط انتقال فاز گاز برای شرکت در واکنش رسوب مواد نیمه هادی استفاده شود.

5. عامل انتقال فاز گاز

به عنوان یک ماده انتقال فاز گازی ، سایر پیش سازهای گازی به محفظه واکنش معرفی می شوند تا به تنظیم میزان رسوب و یکنواختی مواد کمک کنند.

این خصوصیات درجه الکترونیکی را ایجاد می کندکلرید هیدروژنیک عامل مهم پردازش در فناوری نیمه هادی ، که تأثیر کلیدی در عملکرد و قابلیت اطمینان دستگاه نهایی دارد.

علاوه بر استفاده از آن در پردازش نیمه هادی ، کلرید هیدروژن درجه الکترونیکی می تواند انواع مختلفی از کاربردهای موجود در مناطق دیگر را پیدا کند ، از جمله: تهیه مواد خلوص بالا ، سلولهای سوخت ، رشد مواد نیمه هادی ، لیتوگرافی فاز بخار ، تجزیه و تحلیل مواد ، تحقیقات شیمیایی.

به طور کلی ، درجه الکترونیکیکلرید هیدروژنیک گاز خلوص همه کاره است که دارای طیف گسترده ای از برنامه های کاربردی خارج از تولید نیمه هادی است.