طرح جایگزینی داخلی گاز ویژه الکترونیکی شتاب همه جانبه شد!

در سال 2018، بازار جهانی گاز الکترونیکی برای مدارهای مجتمع به 4.512 میلیارد دلار رسید که نسبت به مدت مشابه سال قبل 16 درصد افزایش داشت. نرخ رشد بالای صنعت گاز ویژه الکترونیکی برای نیمه هادی ها و حجم عظیم بازار، طرح جایگزینی داخلی گاز ویژه الکترونیکی را تسریع کرده است!

گاز الکترونی چیست؟

گاز الکترونیکی به منبع اصلی مواد مورد استفاده در تولید نیمه هادی ها، نمایشگرهای صفحه تخت، دیودهای ساطع کننده نور، سلول های خورشیدی و سایر محصولات الکترونیکی اشاره دارد و به طور گسترده در تمیز کردن، اچ کردن، تشکیل فیلم، دوپینگ و سایر فرآیندها استفاده می شود. حوزه های اصلی کاربرد گاز الکترونیکی شامل صنایع الکترونیک، سلول های خورشیدی، ارتباطات سیار، ناوبری خودرو و سیستم های صوتی و تصویری خودرو، هوافضا، صنایع نظامی و بسیاری از زمینه های دیگر است.

گاز ویژه الکترونیکی را می توان با توجه به ترکیب شیمیایی خود به هفت دسته تقسیم کرد: سیلیکون، آرسنیک، فسفر، بور، هیدرید فلز، هالید و آلکوکسید فلز. با توجه به روش های مختلف کاربرد در مدارهای مجتمع، می توان آن را به گاز دوپینگ، گاز اپیتاکسی، گاز کاشت یون، گاز دیود ساطع کننده نور، گاز اچینگ، گاز رسوب بخار شیمیایی و گاز تعادل تقسیم کرد. بیش از 110 واحد گاز ویژه در صنعت نیمه هادی ها مورد استفاده قرار می گیرد که بیش از 30 واحد آن معمولا مورد استفاده قرار می گیرد.

به طور کلی، صنعت تولید نیمه هادی گازها را به دو نوع گازهای معمولی و گازهای ویژه تقسیم می کند. در این میان، گاز متداول به یک منبع متمرکز اشاره دارد و از گازهای زیادی مانند N2، H2، O2، Ar، He و غیره استفاده می کند. گسترش، تزریق یون، مخلوط کردن، شستشو و تشکیل ماسک، چیزی است که ما اکنون آن را گاز ویژه الکترونیکی می‌نامیم، مانند SiH4، PH3، AsH3، B2H6 با خلوص بالا، N2O، NH3، SF6، NF3، CF4، BCl3، BF3، HCl، Cl2 و غیره.

در کل فرآیند تولید صنعت نیمه هادی، از رشد تراشه تا بسته بندی نهایی دستگاه، تقریباً هر پیوندی از گاز ویژه الکترونیکی و تنوع گاز مورد استفاده و الزامات با کیفیت بالا جدایی ناپذیر است، بنابراین گاز الکترونیکی دارای مواد نیمه هادی است. "غذا".

در سال‌های اخیر، قطعات الکترونیکی اصلی چین مانند نیمه‌رساناها و پانل‌های نمایشگر ظرفیت تولید جدید خود را افزایش داده‌اند و تقاضای زیادی برای جایگزینی واردات مواد شیمیایی الکترونیکی وجود دارد. جایگاه گازهای الکترونیکی در صنعت نیمه هادی به طور فزاینده ای برجسته شده است. صنعت گاز الکترونیکی داخلی باعث رشد سریع خواهد شد.

گاز ویژه الکترونیکی نیازمند خلوص بسیار بالایی است، زیرا اگر خلوص در حد نیاز نباشد، گروه های ناخالصی مانند بخار آب و اکسیژن موجود در گاز ویژه الکترونیکی به راحتی لایه اکسیدی روی سطح نیمه هادی تشکیل می دهند که بر روی سطح نیمه هادی تأثیر می گذارد. عمر مفید دستگاه های الکترونیکی و گاز ویژه الکترونیکی حاوی ذرات ناخالصی می تواند باعث اتصال کوتاه نیمه هادی و آسیب به مدار شود. می توان گفت که بهبود خلوص نقش حیاتی در بازده و عملکرد تولید دستگاه الکترونیکی دارد.

با توسعه مداوم صنعت نیمه هادی، روند تولید تراشه همچنان به پیشرفت خود ادامه می دهد و اکنون به 5 نانومتر رسیده است که در آستانه نزدیک شدن به مرز قانون مور است که معادل یک بیستم قطر موی انسان است. حدود 0.1 میلی متر). بنابراین، این نیز الزامات بالاتری را در مورد خلوص گاز ویژه الکترونیکی تولید شده توسط نیمه هادی ها ایجاد می کند.