برنامه جایگزینی داخلی گاز ویژه الکترونیکی به روشی همه جانبه تسریع شده است!

در سال 2018 ، بازار جهانی گاز الکترونیکی برای مدارهای یکپارچه به 4.512 میلیارد دلار رسید که سال گذشته 16 ٪ افزایش یافته است. نرخ رشد بالای صنعت گاز ویژه الکترونیکی برای نیمه هادی ها و اندازه عظیم بازار باعث تسریع در برنامه جایگزینی داخلی گاز ویژه الکترونیکی شده است!

گاز الکترونی چیست؟

گاز الکترونیکی به ماده اصلی منبع مورد استفاده در تولید نیمه هادی ها ، نمایشگرهای پانل مسطح ، دیودهای ساطع کننده نور ، سلولهای خورشیدی و سایر محصولات الکترونیکی اشاره دارد و به طور گسترده در تمیز کردن ، اچ ، شکل گیری فیلم ، دوپینگ و سایر فرآیندها مورد استفاده قرار می گیرد. مناطق اصلی کاربرد گاز الکترونیکی شامل صنعت الکترونیک ، سلولهای خورشیدی ، ارتباطات موبایل ، ناوبری اتومبیل و سیستم های صوتی و تصویری اتومبیل ، هوافضا ، صنعت نظامی و بسیاری از زمینه های دیگر است.

گاز ویژه الکترونیکی را می توان با توجه به ترکیب شیمیایی خود به هفت دسته تقسیم کرد: سیلیکون ، آرسنیک ، فسفر ، بور ، هیدرید فلزی ، هالید و آلکوکسید فلزی. با توجه به روشهای مختلف کاربرد در مدارهای یکپارچه ، می توان آن را به گاز دوپینگ ، گاز اپیتاکسی ، گاز کاشت یون ، گاز دیود با تابش نور ، گاز اچ ، گاز رسوب بخار شیمیایی و گاز تعادل تقسیم کرد. بیش از 110 گاز خاص واحد در صنعت نیمه هادی استفاده می شود که از این تعداد بیش از 30 مورد استفاده می شود.

به طور کلی ، صنعت تولید نیمه هادی گازها را به دو نوع تقسیم می کند: گازهای رایج و گازهای ویژه. در میان آنها ، گاز متداول به یک منبع متمرکز اشاره دارد و از گازهای زیادی مانند N2 ، H2 ، O2 ، AR ، HE ، و غیره استفاده می کند. گاز ویژه به برخی از گازهای شیمیایی مورد استفاده در فرآیند تولید نیمه هادی ، مانند پسوند ، تزریق یون ، مخلوط کردن ، و تشکیل ماسک ، که ما اکنون می نامیم BAM ، مانند PH3 ، Ash3 ، Ash3 Ash3 است ، اشاره دارد. NH3 ، SF6 ، NF3 ، CF4 ، BCL3 ، BF3 ، HCL ، CL2 و غیره.

در کل فرآیند تولید صنعت نیمه هادی ، از رشد تراشه گرفته تا بسته بندی دستگاه نهایی ، تقریباً هر لینک از گاز ویژه الکترونیکی و تنوع گاز مورد استفاده و کیفیت بالا قابل تفکیک است ، بنابراین گاز الکترونیکی دارای مواد نیمه هادی است. "غذا"

در سالهای اخیر ، اجزای اصلی الکترونیکی چین مانند نیمه هادی ها و پانل های نمایش در ظرفیت تولید جدید افزایش یافته است ، و تقاضای شدیدی برای جایگزینی واردات مواد شیمیایی الکترونیکی وجود دارد. موقعیت گازهای الکترونیکی در صنعت نیمه هادی به طور فزاینده ای برجسته شده است. صنعت گاز الکترونیکی داخلی در رشد سریع طغیان خواهد کرد.

گاز ویژه الکترونیکی نیازهای بسیار بالایی برای خلوص دارد ، زیرا اگر خلوص به الزامات مربوط نباشد ، گروه های ناخالصی مانند بخار آب و اکسیژن موجود در گاز ویژه الکترونیکی به راحتی فیلم اکسید را روی سطح نیمه هادی تشکیل می دهند ، که بر عمر خدمات دستگاههای الکترونیکی تأثیر می گذارد ، و گاز ویژه الکترونیکی حاوی ذرات ناآرامی است که می تواند باعث آسیب های کوتاه مدت و مدار شود. می توان گفت که بهبود خلوص نقش مهمی در عملکرد و عملکرد تولید دستگاه الکترونیکی دارد.

با توسعه مداوم صنعت نیمه هادی ، فرآیند تولید تراشه همچنان به پیشرفت خود ادامه می دهد ، و اکنون به 5 نانومتر رسیده است ، که قرار است به حد قانون مور نزدیک شود ، که معادل یک دو قطر یک موهای انسانی (حدود 0.1 میلی متر) است. بنابراین ، این امر همچنین نیازهای بالاتری را در مورد خلوص گاز ویژه الکترونیکی تولید شده توسط نیمه هادی ها ایجاد می کند.