در سال ۲۰۱۸، بازار جهانی گاز الکترونیکی برای مدارهای مجتمع به ۴.۵۱۲ میلیارد دلار آمریکا رسید که نسبت به سال گذشته ۱۶ درصد افزایش داشته است. نرخ رشد بالای صنعت گاز ویژه الکترونیکی برای نیمه‌هادی‌ها و اندازه عظیم بازار، طرح جایگزینی داخلی گاز ویژه الکترونیکی را تسریع کرده است!
گاز الکترونی چیست؟
گاز الکترونیکی به ماده اولیه مورد استفاده در تولید نیمه هادی ها، نمایشگرهای صفحه تخت، دیودهای ساطع کننده نور، سلول های خورشیدی و سایر محصولات الکترونیکی اشاره دارد و به طور گسترده در تمیز کردن، حکاکی، تشکیل فیلم، دوپینگ و سایر فرآیندها مورد استفاده قرار می گیرد. زمینه های اصلی کاربرد گاز الکترونیکی شامل صنعت الکترونیک، سلول های خورشیدی، ارتباطات سیار، ناوبری خودرو و سیستم های صوتی و تصویری خودرو، هوافضا، صنایع نظامی و بسیاری از زمینه های دیگر است.
گاز ویژه الکترونیکی را می‌توان بر اساس ترکیب شیمیایی خود به هفت دسته تقسیم کرد: سیلیکون، آرسنیک، فسفر، بور، هیدرید فلزی، هالید و آلکوکسید فلزی. با توجه به روش‌های مختلف کاربرد در مدارهای مجتمع، می‌توان آن را به گاز دوپینگ، گاز اپیتاکسی، گاز کاشت یون، گاز دیود ساطع‌کننده نور، گاز حکاکی، گاز رسوب بخار شیمیایی و گاز تعادل تقسیم کرد. بیش از ۱۱۰ واحد گاز ویژه در صنعت نیمه‌هادی استفاده می‌شود که بیش از ۳۰ مورد از آنها معمولاً مورد استفاده قرار می‌گیرند.
به طور کلی، صنعت تولید نیمه‌رساناها، گازها را به دو نوع تقسیم می‌کند: گازهای معمولی و گازهای ویژه. در میان آنها، گاز رایج به یک منبع متمرکز اشاره دارد و از گازهای زیادی مانند N2، H2، O2، Ar، He و غیره استفاده می‌کند. گاز ویژه به برخی از گازهای شیمیایی مورد استفاده در فرآیند تولید نیمه‌رساناها مانند انبساط، تزریق یون، ترکیب، شستشو و تشکیل ماسک اشاره دارد که همان چیزی است که اکنون ما آن را گاز ویژه الکترونیکی می‌نامیم، مانند SiH4 با خلوص بالا، PH3، AsH3، B2H6، N2O، NH3، SF6، NF3، CF4، BCl3، BF3، HCl، Cl2 و غیره.
در کل فرآیند تولید صنعت نیمه‌هادی، از رشد تراشه گرفته تا بسته‌بندی نهایی دستگاه، تقریباً هر پیوندی از گاز مخصوص الکترونیکی و تنوع گاز مورد استفاده و الزامات کیفیت بالا جدایی‌ناپذیر است، بنابراین گاز الکترونیکی دارای مواد نیمه‌هادی است. "غذا".
در سال‌های اخیر، ظرفیت تولید قطعات الکترونیکی اصلی چین مانند نیمه‌رساناها و پنل‌های نمایشگر افزایش یافته و تقاضای زیادی برای جایگزینی واردات مواد شیمیایی الکترونیکی وجود دارد. جایگاه گازهای الکترونیکی در صنعت نیمه‌رساناها به طور فزاینده‌ای برجسته شده است. صنعت داخلی گاز الکترونیکی، رشد سریعی را به همراه خواهد داشت.
گاز ویژه الکترونیکی به خلوص بسیار بالایی نیاز دارد، زیرا اگر خلوص آن مطابق با الزامات نباشد، گروه‌های ناخالصی مانند بخار آب و اکسیژن موجود در گاز ویژه الکترونیکی به راحتی روی سطح نیمه‌رسانا فیلم اکسید تشکیل می‌دهند که بر عمر مفید دستگاه‌های الکترونیکی تأثیر می‌گذارد و گاز ویژه الکترونیکی حاوی ذرات ناخالصی است که می‌تواند باعث اتصال کوتاه نیمه‌رساناها و آسیب به مدار شود. می‌توان گفت که بهبود خلوص نقش حیاتی در عملکرد و بازدهی تولید دستگاه‌های الکترونیکی دارد.
با توسعه مداوم صنعت نیمه‌رساناها، فرآیند تولید تراشه همچنان در حال بهبود است و اکنون به 5 نانومتر رسیده است که در شرف نزدیک شدن به حد قانون مور است که معادل یک بیستم قطر موی انسان (حدود 0.1 میلی‌متر) است. بنابراین، این امر الزامات بالاتری را در مورد خلوص گاز ویژه الکترونیکی تولید شده توسط نیمه‌رساناها مطرح می‌کند.
زمان ارسال: ۱۵ دسامبر ۲۰۲۱
