صنعت نیمه هادی و صنعت پانل کشور ما سطح بالایی از سعادت را حفظ می کند. Trifluoride نیتروژن ، به عنوان یک گاز الکترونیکی ویژه و بیشترین حجم در تولید و پردازش پانل ها و نیمه هادی ها ، فضای گسترده ای در بازار دارد.
گازهای الکترونیکی مخصوص حاوی فلورین که معمولاً مورد استفاده قرار می گیرد شاملسولفور هگزافلوراید (SF6)، تنگستن hexafluoride (WF6) ،تترا فلوئورید کربن (CF4)، تری فلوئورومتان (CHF3) ، تری فلوئورید نیتروژن (NF3) ، هگزا فلوروها (C2F6) و اوکت فلوئوروپروپان (C3F8). Trifluoride نیتروژن (NF3) عمدتاً به عنوان منبع فلوئور برای لیزرهای شیمیایی با انرژی بالا گاز هیدروژن استفاده می شود. بخش مؤثر (حدود 25 ٪) انرژی واکنش بین H2-O2 و F2 را می توان با تابش لیزر آزاد کرد ، بنابراین لیزرهای HF امیدوار کننده ترین لیزر در بین لیزرهای شیمیایی هستند.
Trifluoride نیتروژن یک گاز اچی عالی پلاسما در صنعت میکروالکترونیک است. برای اچ کردن سیلیکون و نیترید سیلیکون ، تری فلوئورید نیتروژن دارای میزان اچ و انتخاب بالاتری نسبت به تترا فلوئورید کربن و مخلوطی از تترا فلوراید کربن و اکسیژن است و هیچ آلودگی به سطح ندارد. به خصوص در اچ کردن مواد مدار یکپارچه با ضخامت کمتر از 1.5um ، تری فلوئورید نیتروژن دارای سرعت و انتخاب بسیار عالی است و هیچ باقی مانده ای بر روی سطح شیء اچ باقی نمی گذارد و همچنین یک ماده تمیز کننده بسیار مناسب است. با توسعه فناوری نانو و توسعه گسترده صنعت الکترونیک ، تقاضای آن روز به روز افزایش می یابد.
به عنوان یک نوع گاز ویژه حاوی فلورین ، تری فلوئورید نیتروژن (NF3) بزرگترین محصول گاز ویژه الکترونیکی در بازار است. از نظر شیمیایی در دمای اتاق بی اثر است ، فعال تر از اکسیژن ، پایدارتر از فلوئور است و در دمای بالا قابل کنترل است.
Trifluoride نیتروژن عمدتاً به عنوان ماده تمیز کننده گاز اچینگ و واکنش محفظه پلاسما ، مناسب برای ساخت زمینه های ساخت مانند تراشه های نیمه هادی ، نمایشگرهای پانل مسطح ، الیاف نوری ، سلول های فتوولتائیک و غیره استفاده می شود.
در مقایسه با سایر گازهای الکترونیکی حاوی فلورین ، تری فلوئورید ازت ، مزایای واکنش سریع و راندمان بالا را دارد ، به خصوص در اچ کردن مواد حاوی سیلیکون مانند نیترید سیلیکون ، دارای میزان اچ کردن بالا و انتخابی است ، و هیچ گونه باقی مانده ای بر روی سطح شیء قرار می گیرد و همچنین یک سطح فرآیند است و همچنین یک ماده تمیز کننده بسیار خوب است و این ماده پاک کننده بسیار خوبی است و آن را تمیز کننده بسیار خوب است و این ماده تمیز کننده بسیار خوب است و این ماده تمیز کننده بسیار خوب است و این ماده تمیز کننده بسیار خوب است و این ماده تمیز کننده بسیار خوب است و این ماده تمیز کننده بسیار خوب است و این ماده تمیز کننده بسیار خوب است.
زمان پست: دسامبر -26-2024
