الکترونیکیگازهای ویژهشاخه مهمی از گازهای ویژه هستند. آنها تقریباً در هر مرحله از تولید نیمه‌هادی‌ها نفوذ می‌کنند و مواد اولیه ضروری برای تولید صنایع الکترونیکی مانند مدارهای مجتمع در مقیاس بسیار بزرگ، دستگاه‌های نمایشگر صفحه تخت و سلول‌های خورشیدی هستند.

در فناوری نیمه‌هادی‌ها، گازهای حاوی فلوئور به طور گسترده مورد استفاده قرار می‌گیرند. در حال حاضر، در بازار جهانی گازهای الکترونیکی، گازهای الکترونیکی حاوی فلوئور حدود 30٪ از کل را تشکیل می‌دهند. گازهای الکترونیکی حاوی فلوئور جزء مهمی از گازهای الکترونیکی ویژه در زمینه مواد اطلاعاتی الکترونیکی هستند. آنها عمدتاً به عنوان عوامل تمیزکننده و عوامل حکاکی استفاده می‌شوند و همچنین می‌توانند به عنوان دوپانت، مواد تشکیل‌دهنده فیلم و غیره مورد استفاده قرار گیرند. در این مقاله، نویسنده شما را با گازهای رایج حاوی فلوئور آشنا می‌کند.

گازهای حاوی فلوئور که معمولاً استفاده می‌شوند عبارتند از:

تری فلوئورید نیتروژن (NF3): گازی که برای تمیز کردن و از بین بردن رسوبات استفاده می‌شود و معمولاً برای تمیز کردن محفظه‌های واکنش و سطوح تجهیزات به کار می‌رود.

هگزافلورید گوگرد (SF6): یک عامل فلوئوردار کننده که در فرآیندهای رسوب اکسید و به عنوان گاز عایق برای پر کردن محیط‌های عایق استفاده می‌شود.

هیدروژن فلوراید (HF): برای حذف اکسیدها از سطح سیلیکون و به عنوان یک ماده‌ی اچ کننده برای اچ کردن سیلیکون و سایر مواد استفاده می‌شود.

فلوراید نیتروژن (NF): برای حکاکی موادی مانند نیترید سیلیکون (SiN) و نیترید آلومینیوم (AlN) استفاده می‌شود.

تری فلوئورومتان (CHF3) وتترافلورومتان (CF4)برای حکاکی مواد فلوراید مانند سیلیکون فلوراید و آلومینیوم فلوراید استفاده می‌شود.

با این حال، گازهای حاوی فلوئور خطرات خاصی از جمله سمیت، خورندگی و اشتعال پذیری دارند.

سمیت

برخی از گازهای حاوی فلوئور سمی هستند، مانند هیدروژن فلوئورید (HF) که بخار آن برای پوست و دستگاه تنفسی بسیار تحریک کننده است و برای سلامت انسان مضر است.

خورندگی

هیدروژن فلوراید و برخی از فلورایدها بسیار خورنده هستند و می‌توانند آسیب‌های جدی به پوست، چشم‌ها و مجاری تنفسی وارد کنند.

اشتعال پذیری

برخی از فلورایدها قابل اشتعال هستند و با اکسیژن یا آب موجود در هوا واکنش نشان می‌دهند و گرمای شدید و گازهای سمی آزاد می‌کنند که ممکن است باعث آتش‌سوزی یا انفجار شود.

خطر فشار بالا

برخی از گازهای فلوئوردار تحت فشار بالا قابل انفجار هستند و هنگام استفاده و نگهداری نیاز به مراقبت ویژه دارند.

تأثیر بر محیط زیست

گازهای حاوی فلوئور دارای طول عمر جوی و مقادیر GWP بالایی هستند که تأثیر مخربی بر لایه ازن جوی دارند و ممکن است باعث گرم شدن کره زمین و آلودگی محیط زیست شوند.

کاربرد گازها در حوزه‌های نوظهور مانند الکترونیک همچنان رو به افزایش است و تقاضای جدید زیادی برای گازهای صنعتی ایجاد می‌کند. بر اساس ظرفیت بالای تولید جدید قطعات الکترونیکی اصلی مانند نیمه‌رساناها و پنل‌های نمایشگر در سرزمین اصلی چین در چند سال آینده و همچنین تقاضای زیاد برای جایگزینی واردات مواد شیمیایی الکترونیکی، صنعت گاز الکترونیکی داخلی نرخ رشد بالایی را به همراه خواهد داشت.