الکترونیکیگازهای خاصشاخه مهمی از گازهای ویژه است. آنها تقریباً به هر پیوند تولید نیمه هادی نفوذ می کنند و مواد اولیه ضروری برای تولید صنایع الکترونیکی مانند مدارهای یکپارچه در مقیاس فوق العاده بزرگ ، دستگاه های نمایشگر پانل مسطح و سلول های خورشیدی هستند.

در فناوری نیمه هادی ، از گازهای حاوی فلوئور به طور گسترده ای استفاده می شود. در حال حاضر ، در بازار جهانی گاز الکترونیکی ، گازهای الکترونیکی حاوی فلورین حدود 30 ٪ از کل را تشکیل می دهند. گازهای الکترونیکی حاوی فلوئور یکی از مؤلفه های مهم گازهای الکترونیکی ویژه در زمینه مواد اطلاعاتی الکترونیکی است. آنها عمدتاً به عنوان مواد تمیز کننده و عوامل اچینگ مورد استفاده قرار می گیرند و همچنین می توانند به عنوان دوپانت ، مواد تشکیل دهنده فیلم و غیره مورد استفاده قرار گیرند. در این مقاله ، نویسنده شما را برای درک گازهای حاوی فلورین مشترک سوق می دهد.

موارد زیر معمولاً از گازهای حاوی فلوئور استفاده می شود

Trifluoride نیتروژن (NF3): گاز مورد استفاده برای تمیز کردن و از بین بردن رسوبات ، که معمولاً برای تمیز کردن اتاق های واکنش و سطوح تجهیزات استفاده می شود.

سولفور هگزافلوراید (SF6): یک ماده فلورین کننده مورد استفاده در فرآیندهای رسوب اکسید و به عنوان یک گاز عایق برای پر کردن رسانه های عایق.

فلوراید هیدروژن (HF): برای از بین بردن اکسیدها از سطح سیلیکون و به عنوان یک اچانت برای اچ کردن سیلیکون و سایر مواد استفاده می شود.

فلوراید نیتروژن (NF): برای اچ موادی مانند نیترید سیلیکون (گناه) و نیترید آلومینیوم (ALN) استفاده می شود.

trifluoromethane (CHF3) وTetrafluoromethane (CF4): برای اچ مواد فلوراید مانند فلوراید سیلیکون و فلوراید آلومینیوم استفاده می شود.

با این حال ، گازهای حاوی فلورین خطرات خاصی از جمله سمیت ، خوردگی و اشتعال پذیری دارند.

سمی

برخی از گازهای حاوی فلوئور سمی هستند ، مانند هیدروژن فلوراید (HF) ، که بخار آن برای پوست و دستگاه تنفسی بسیار تحریک کننده است و برای سلامت انسان مضر است.

خوردگی

فلوراید هیدروژن و برخی از فلورایدها بسیار خورنده هستند و می توانند آسیب جدی به پوست ، چشم و دستگاه تنفسی وارد کنند.

قابلیت اشتعال

برخی از فلورایدها قابل اشتعال هستند و با اکسیژن یا آب موجود در هوا واکنش نشان می دهند تا گرمای شدید و گازهای سمی را آزاد کنند که ممکن است باعث آتش سوزی یا انفجار شود.

خطر پر فشار

برخی از گازهای فلور شده تحت فشار زیاد انفجاری هستند و در هنگام استفاده و ذخیره نیاز به مراقبت ویژه دارند.

تأثیر بر محیط زیست

گازهای حاوی فلورین دارای طول عمر جوی و مقادیر GWP هستند که تأثیر مخرب بر لایه ازن جوی دارند و ممکن است باعث گرم شدن کره زمین و آلودگی محیطی شود.

استفاده از گازها در مزارع نوظهور مانند الکترونیک همچنان عمیق تر می شود و مقدار زیادی تقاضای جدید برای گازهای صنعتی به همراه می آورد. بر اساس مقدار زیادی از ظرفیت تولید جدید اجزای اصلی الکترونیکی مانند نیمه هادی ها و پانل های نمایش در سرزمین اصلی چین در چند سال آینده و همچنین تقاضای زیاد برای جایگزینی واردات مواد شیمیایی الکترونیکی ، صنعت گاز الکترونیکی داخلی با سرعت رشد بالایی خواهد بود.