الکترونیکیگازهای خاصشاخه مهمی از گازهای خاص هستند. آنها تقریباً در هر حلقه تولید نیمه هادی نفوذ می کنند و مواد خام ضروری برای تولید صنایع الکترونیکی مانند مدارهای مجتمع در مقیاس بزرگ، دستگاه های نمایشگر صفحه تخت و سلول های خورشیدی هستند.

در فناوری نیمه هادی، گازهای حاوی فلوئور به طور گسترده ای مورد استفاده قرار می گیرند. در حال حاضر، در بازار جهانی گاز الکترونیکی، گازهای الکترونیکی حاوی فلوئور حدود 30 درصد از کل را تشکیل می دهند. گازهای الکترونیکی حاوی فلوئور جزء مهمی از گازهای الکترونیکی ویژه در زمینه مواد اطلاعاتی الکترونیکی هستند. آنها عمدتاً به عنوان مواد پاک کننده و اچ کننده استفاده می شوند و همچنین می توانند به عنوان مواد ناخالص کننده، مواد تشکیل دهنده فیلم و غیره استفاده شوند. در این مقاله نویسنده شما را با گازهای رایج حاوی فلوئور آشنا می کند.

گازهای زیر معمولاً مورد استفاده قرار می گیرند که حاوی فلوئور هستند

نیتروژن تری فلوراید (NF3): گازی است که برای تمیز کردن و از بین بردن رسوبات استفاده می شود که معمولاً برای تمیز کردن اتاق های واکنش و سطوح تجهیزات استفاده می شود.

هگزا فلوراید گوگرد (SF6): یک عامل فلوئوردار مورد استفاده در فرآیندهای رسوب اکسیدی و به عنوان گاز عایق برای پر کردن محیط های عایق.

هیدروژن فلوراید (HF): برای حذف اکسیدها از سطح سیلیکون و به عنوان یک اچ برای حکاکی سیلیکون و سایر مواد استفاده می شود.

نیتروژن فلوراید (NF): برای حکاکی موادی مانند نیترید سیلیکون (SiN) و نیترید آلومینیوم (AlN) استفاده می شود.

تری فلورومتان (CHF3) وتترافلورومتان (CF4): برای اچ کردن مواد فلوراید مانند سیلیکون فلوراید و فلوراید آلومینیوم استفاده می شود.

با این حال، گازهای حاوی فلوئور خطرات خاصی از جمله سمیت، خورندگی و اشتعال پذیری دارند.

سمیت

برخی از گازهای حاوی فلوئور سمی هستند، مانند هیدروژن فلوراید (HF) که بخار آن برای پوست و مجاری تنفسی بسیار تحریک کننده است و برای سلامتی انسان مضر است.

خورندگی

فلوراید هیدروژن و برخی فلورایدها بسیار خورنده هستند و می توانند آسیب جدی به پوست، چشم و مجاری تنفسی وارد کنند.

اشتعال پذیری

برخی از فلورایدها قابل اشتعال هستند و با اکسیژن یا آب موجود در هوا واکنش داده و گرمای شدید و گازهای سمی آزاد می کنند که ممکن است باعث آتش سوزی یا انفجار شود.

خطر فشار بالا

برخی از گازهای فلوئوردار تحت فشار بالا قابل انفجار هستند و در هنگام استفاده و نگهداری نیاز به مراقبت ویژه دارند.

تاثیر بر محیط زیست

گازهای حاوی فلوئور طول عمر اتمسفر و مقادیر GWP بالایی دارند که اثر مخربی بر لایه اوزون جوی دارند و ممکن است باعث گرم شدن کره زمین و آلودگی محیط زیست شوند.

استفاده از گازها در زمینه های نوظهور مانند الکترونیک همچنان در حال عمیق تر شدن است و حجم زیادی از تقاضای جدید برای گازهای صنعتی را به همراه دارد. با توجه به حجم زیاد ظرفیت جدید تولید قطعات الکترونیکی اصلی مانند نیمه هادی ها و پنل های نمایشگر در سرزمین اصلی چین در چند سال آینده و همچنین تقاضای شدید برای جایگزینی واردات مواد شیمیایی الکترونیکی، صنعت گاز الکترونیکی داخلی راه اندازی خواهد شد. نرخ رشد بالا