تترافلورید کربن چیست؟ چه کاربردی دارد؟

چیست؟تترافلوئورید کربنچه کاربردی دارد؟

تترافلوئورید کربنتترافلورومتان که با نام تترافلورومتان نیز شناخته می‌شود، یک ترکیب معدنی محسوب می‌شود. این ماده در فرآیند حکاکی پلاسمایی مدارهای مجتمع مختلف و همچنین به عنوان گاز لیزر و مبرد استفاده می‌شود. این گاز در دما و فشار معمولی نسبتاً پایدار است، اما لازم است از تماس آن با اکسیدان‌های قوی، مواد قابل اشتعال یا احتراق‌پذیر خودداری شود. تترافلورید کربن یک گاز غیرقابل احتراق است. در صورت مواجهه با گرمای زیاد، باعث افزایش فشار داخلی ظرف می‌شود و خطر ترک خوردگی و انفجار وجود دارد. معمولاً فقط در دمای اتاق می‌تواند با معرف فلز آمونیاک-سدیم مایع واکنش دهد.

تترافلوئورید کربندر حال حاضر بزرگترین گاز اچینگ پلاسما مورد استفاده در صنعت میکروالکترونیک است. این گاز می‌تواند به طور گسترده در اچینگ سیلیکون، دی اکسید سیلیکون، شیشه فسفوسیلیکات و سایر مواد لایه نازک، تمیز کردن سطح دستگاه‌های الکترونیکی، تولید سلول‌های خورشیدی، فناوری لیزر، عایق‌بندی فاز گازی، تبرید در دمای پایین، عوامل تشخیص نشت و مواد شوینده در تولید مدار چاپی کاربرد زیادی داشته باشد.