تترا فلوراید کربن چیست؟ چه فایده ای دارد؟

چیستتترا فلوراید کربن? چه فایده ای دارد؟

تترا فلوراید کربنکه به عنوان تترافلورومتان نیز شناخته می شود، به عنوان یک ترکیب معدنی در نظر گرفته می شود. در فرآیند اچینگ پلاسما مدارهای مجتمع مختلف و همچنین به عنوان گاز لیزر و مبرد استفاده می شود. در دما و فشار معمولی نسبتاً پایدار است، اما لازم است از تماس با اکسیدان های قوی، مواد قابل اشتعال یا احتراق اجتناب شود. تترا فلوراید کربن یک گاز غیر قابل احتراق است. در صورت مواجهه با حرارت زیاد باعث افزایش فشار داخلی ظرف می شود و خطر ترک خوردن و انفجار وجود دارد. معمولاً فقط می تواند با معرف مایع آمونیاک-سدیم فلزی در دمای اتاق تعامل داشته باشد.

تترا فلوراید کربندر حال حاضر بزرگترین گاز اچینگ پلاسما است که در صنعت میکروالکترونیک استفاده می شود. این می تواند به طور گسترده ای در حکاکی سیلیکون، دی اکسید سیلیکون، شیشه فسفوسیلیکات و سایر مواد فیلم نازک، تمیز کردن سطح دستگاه های الکترونیکی، تولید سلول های خورشیدی، فناوری لیزر، عایق فاز گاز، تبرید در دمای پایین، عوامل تشخیص نشت، استفاده شود. و مواد شوینده در تولید مدار چاپی کاربردهای زیادی دارند.