سیلانترکیبی از سیلیکون و هیدروژن است و یک اصطلاح کلی برای مجموعه ای از ترکیبات است. سیلان عمدتاً شامل مونوسیلان (SiH4)، دیسیلان (Si2H6) و برخی از ترکیبات هیدروژنی سیلیکونی سطح بالاتر با فرمول کلی SinH2n+2 است. با این حال، در تولید واقعی، ما به طور کلی به مونوسیلان (فرمول شیمیایی SiH4) به عنوان "سیلان" اشاره می کنیم.

درجه الکترونیکیگاز سیلانعمدتاً با تقطیر واکنش‌های مختلف و خالص‌سازی پودر سیلیکون، هیدروژن، تتراکلرید سیلیسیم، کاتالیزور و غیره به دست می‌آید. سیلان با خلوص 3 تا 4 نیوتن سیلان صنعتی و سیلان با خلوص بیش از 6 نیوتن را الکترونیکی می‌نامند. گاز سیلان درجه

به عنوان منبع گاز برای حمل اجزای سیلیکونی،گاز سیلانبه یک گاز ویژه مهم تبدیل شده است که به دلیل خلوص بالا و توانایی در دستیابی به کنترل دقیق نمی تواند با بسیاری از منابع سیلیکونی دیگر جایگزین شود. مونوسیلان از طریق واکنش پیرولیز سیلیکون کریستالی تولید می کند که در حال حاضر یکی از روش های تولید سیلیکون تک کریستالی دانه ای و سیلیسیم پلی کریستالی در مقیاس بزرگ در جهان است.

ویژگی های سیلان

سیلان (SiH4)گازی بی رنگ است که با هوا واکنش می دهد و باعث خفگی می شود. مترادف آن سیلیکون هیدرید است. فرمول شیمیایی سیلان SiH4 است و محتوای آن به 99.99٪ می رسد. در دما و فشار اتاق، سیلان یک گاز سمی بدبو است. نقطه ذوب سیلان -185 درجه سانتیگراد و نقطه جوش -112 درجه سانتیگراد است. در دمای اتاق، سیلان پایدار است، اما هنگامی که تا 400 درجه سانتیگراد گرم شود، به طور کامل به سیلیکون گازی و هیدروژن تجزیه می شود. سیلان قابل اشتعال و انفجار است و در هوا یا گاز هالوژن به صورت انفجاری می سوزد.

فیلدهای کاربردی

سیلان کاربردهای گسترده ای دارد. علاوه بر اینکه موثرترین راه برای اتصال مولکول های سیلیکون به سطح سلول در طول تولید سلول های خورشیدی است، همچنین در کارخانه های تولیدی مانند نیمه هادی ها، نمایشگرهای صفحه تخت و شیشه های روکش دار نیز کاربرد زیادی دارد.

سیلانمنبع سیلیکون برای فرآیندهای رسوب بخار شیمیایی مانند سیلیکون تک کریستال، ویفرهای اپیتاکسیال سیلیکون پلی کریستالی، دی اکسید سیلیکون، نیترید سیلیکون و شیشه فسفوسیلیکات در صنعت نیمه هادی است و به طور گسترده در تولید و توسعه سلول های خورشیدی، درام های کپی سیلیکون استفاده می شود. ، سنسورهای فوتوالکتریک، فیبرهای نوری و شیشه های مخصوص.

در سال‌های اخیر، کاربردهای پیشرفته سیلان‌ها از جمله ساخت سرامیک‌های پیشرفته، مواد کامپوزیت، مواد کاربردی، بیومواد، مواد پرانرژی و غیره همچنان در حال ظهور هستند که اساس بسیاری از فناوری‌های جدید، مواد جدید و جدید شده‌اند. دستگاه ها