سیلان (SiH4)

پارامترهای فنی

سیلان ترکیبی از سیلیکون و هیدروژن است. این یک اصطلاح کلی برای مجموعه ای از ترکیبات، از جمله مونوسیلان (SiH4)، دی سیلان (Si2H6) و برخی از ترکیبات سیلیکون هیدروژن سطح بالاتر است. در میان آنها، مونوسیلان رایج ترین است که گاهی به اختصار به آن سیلان می گویند. سیلان گازی بی رنگ با بوی مشمئز کننده سیر است. محلول در آب، تقریباً نامحلول در اتانول، اتر، بنزن، کلروفرم، کلروفرم سیلیکون و تتراکلرید سیلیکون. خواص شیمیایی سیلان ها بسیار فعال تر از آلکان ها است و به راحتی اکسید می شوند. احتراق خود به خود می تواند در تماس با هوا رخ دهد. با نیتروژن کمتر از 25 درجه سانتی گراد واکنش نمی دهد و در دمای اتاق با ترکیبات هیدروکربنی واکنش نمی دهد. آتش و انفجار سیلان نتیجه واکنش با اکسیژن است. سیلان به اکسیژن و هوا بسیار حساس است. سیلان با غلظت معین نیز در دمای 180- درجه سانتی گراد با اکسیژن واکنش انفجاری می دهد. سیلان به مهم ترین گاز ویژه مورد استفاده در فرآیندهای میکروالکترونیک نیمه هادی تبدیل شده است و در تهیه فیلم های میکروالکترونیکی مختلف از جمله فیلم های تک کریستالی، میکرو کریستالی، پلی کریستالی، اکسید سیلیکون، نیترید سیلیکون و سیلیسیدهای فلزی استفاده می شود. کاربردهای میکروالکترونیکی سیلان هنوز در عمق در حال توسعه هستند: اپیتاکسی در دمای پایین، اپیتاکسی انتخابی و اپیتاکسی هترواپیتاکسی. نه تنها برای دستگاه های سیلیکونی و مدارهای مجتمع سیلیکونی، بلکه برای دستگاه های نیمه هادی مرکب (آرسنید گالیم، کاربید سیلیکون و غیره). همچنین در تهیه مواد چاه کوانتومی سوپرشبکه کاربرد دارد. می توان گفت که سیلان تقریباً در تمام خطوط تولید مدار مجتمع پیشرفته در دوران مدرن استفاده می شود. کاربرد سیلان به عنوان یک فیلم و پوشش حاوی سیلیکون از صنعت میکروالکترونیک سنتی به زمینه های مختلفی مانند فولاد، ماشین آلات، مواد شیمیایی و اپتیک گسترش یافته است. یکی دیگر از کاربردهای بالقوه سیلان، ساخت قطعات موتور سرامیکی با کارایی بالا است، به ویژه استفاده از سیلان برای ساخت میکروپودر سیلیسید (Si3N4، SiC و غیره) بیش از پیش مورد توجه قرار گرفته است.

کاربرد:

① الکترونیکی:

سیلان در هنگام ساخت نیمه هادی ها و درزگیرها روی لایه های سیلیکونی پلی کریستالی روی ویفرهای سیلیکونی اعمال می شود.

②خورشیدی:

سیلان در تولید ماژول های فتوولتائیک خورشیدی استفاده می شود.

③ صنعتی:

این در شیشه سبز صرفه جویی در انرژی استفاده می شود و برای فرآیند لایه نازک رسوب بخار استفاده می شود.

بسته معمولی:

مزیت:

①بیش از ده سال در بازار؛

②تولید کننده گواهی ISO.

③ تحویل سریع؛

④ منبع مواد خام پایدار؛

⑤ سیستم تجزیه و تحلیل آنلاین برای کنترل کیفیت در هر مرحله.

⑥ نیاز بالا و فرآیند دقیق برای جابجایی سیلندر قبل از پر کردن.

⑦ خلوص: درجه الکترونیکی با خلوص بالا؛

⑧ استفاده: مواد سلول خورشیدی. ساخت پلی سیلیکون با خلوص بالا، اکسید سیلیکون و فیبر نوری؛ تولید شیشه رنگی