هگزافلورید تنگستن (WF6) از طریق فرآیند CVD روی سطح ویفر رسوب داده میشود، شیارهای اتصال فلزی را پر میکند و اتصال فلزی بین لایهها را تشکیل میدهد.
بیایید ابتدا در مورد پلاسما صحبت کنیم. پلاسما شکلی از ماده است که عمدتاً از الکترونهای آزاد و یونهای باردار تشکیل شده است. این ماده به طور گسترده در جهان وجود دارد و اغلب به عنوان حالت چهارم ماده در نظر گرفته میشود. به آن حالت پلاسما یا "پلاسما" گفته میشود. پلاسما رسانایی الکتریکی بالایی دارد و اثر جفت شدن قوی با میدان الکترومغناطیسی دارد. این یک گاز تا حدی یونیزه شده است که از الکترونها، یونها، رادیکالهای آزاد، ذرات خنثی و فوتونها تشکیل شده است. خود پلاسما ترکیبی از نظر الکتریکی خنثی است که حاوی ذرات فعال فیزیکی و شیمیایی است.
توضیح ساده این است که تحت تأثیر انرژی بالا، مولکول بر نیروی واندروالس، نیروی پیوند شیمیایی و نیروی کولن غلبه میکند و به طور کلی نوعی الکتریسیته خنثی ارائه میدهد. در عین حال، انرژی بالای منتقل شده از خارج بر سه نیروی فوق غلبه میکند. عملکرد، الکترونها و یونها حالت آزادی را نشان میدهند که میتوان به صورت مصنوعی تحت مدولاسیون میدان مغناطیسی، مانند فرآیند اچینگ نیمههادی، فرآیند CVD، فرآیند PVD و IMP، از آن استفاده کرد.
انرژی بالا چیست؟ در تئوری، هم میتوان از RF با دمای بالا و هم با فرکانس بالا استفاده کرد. به طور کلی، دستیابی به دمای بالا تقریباً غیرممکن است. این نیاز دمایی بسیار بالاست و ممکن است نزدیک به دمای خورشید باشد. اساساً دستیابی به آن در این فرآیند غیرممکن است. بنابراین، صنعت معمولاً از RF با فرکانس بالا برای دستیابی به آن استفاده میکند. RF پلاسما میتواند به فرکانسهای بالای ۱۳ مگاهرتز برسد.
هگزافلورید تنگستن تحت تأثیر میدان الکتریکی پلاسما میشود و سپس توسط میدان مغناطیسی به صورت بخار رسوب میکند. اتمهای تنگستن شبیه پرهای غاز زمستانی هستند و تحت تأثیر جاذبه به زمین میافتند. اتمهای تنگستن به آرامی در سوراخهای سرتاسری رسوب میکنند و در نهایت سوراخهای سرتاسری را پر میکنند تا اتصالات فلزی تشکیل دهند. علاوه بر رسوب اتمهای تنگستن در سوراخهای سرتاسری، آیا آنها روی سطح ویفر نیز رسوب میکنند؟ بله، قطعاً. به طور کلی، میتوانید از فرآیند W-CMP استفاده کنید، که همان چیزی است که ما آن را فرآیند آسیاب مکانیکی برای حذف مینامیم. این فرآیند شبیه به استفاده از جارو برای جارو کردن کف پس از برف سنگین است. برف روی زمین جارو میشود، اما برف موجود در سوراخ روی زمین باقی میماند. تقریباً به همان شکل.
زمان ارسال: ۲۴ دسامبر ۲۰۲۱
