موارد استفاده از تنگستن هگزا فلوراید (WF6)

هگزا فلوراید تنگستن (WF6) از طریق فرآیند CVD روی سطح ویفر رسوب می‌کند، ترانشه‌های اتصال فلزی را پر می‌کند و اتصال فلزی بین لایه‌ها را تشکیل می‌دهد.

بیایید ابتدا در مورد پلاسما صحبت کنیم. پلاسما شکلی از ماده است که عمدتاً از الکترون های آزاد و یون های باردار تشکیل شده است. این به طور گسترده در جهان وجود دارد و اغلب به عنوان حالت چهارم ماده در نظر گرفته می شود. به آن حالت پلاسما می گویند که «پلاسما» نیز نامیده می شود. پلاسما رسانایی الکتریکی بالایی دارد و اثر جفت شدن قوی با میدان الکترومغناطیسی دارد. این گاز تا حدی یونیزه است که از الکترون ها، یون ها، رادیکال های آزاد، ذرات خنثی و فوتون ها تشکیل شده است. پلاسما خود یک مخلوط الکتریکی خنثی است که حاوی ذرات فعال فیزیکی و شیمیایی است.

توضیح ساده این است که تحت اثر انرژی بالا، مولکول بر نیروی واندروالس، نیروی پیوند شیمیایی و نیروی کولن غلبه خواهد کرد و شکلی از الکتریسیته خنثی را به‌طور کلی ارائه می‌کند. در عین حال، انرژی بالایی که از بیرون وارد می شود، بر سه نیروی فوق غلبه می کند. تابع، الکترون‌ها و یون‌ها حالتی آزاد دارند که می‌تواند به‌طور مصنوعی تحت مدولاسیون یک میدان مغناطیسی، مانند فرآیند اچینگ نیمه‌رسانا، فرآیند CVD، فرآیند PVD و IMP استفاده شود.

انرژی بالا چیست؟ در تئوری، هم دمای بالا و هم RF فرکانس بالا را می توان استفاده کرد. به طور کلی، رسیدن به دمای بالا تقریبا غیرممکن است. این نیاز به دمای خیلی زیاد است و ممکن است نزدیک به دمای خورشید باشد. اساساً رسیدن به آن در این فرآیند غیرممکن است. بنابراین، صنعت معمولا برای دستیابی به آن از RF فرکانس بالا استفاده می کند. RF پلاسما می تواند به 13MHz+ برسد.

هگزا فلوراید تنگستن تحت تاثیر میدان الکتریکی پلاسمایی می شود و سپس توسط میدان مغناطیسی به بخار رسوب می کند. اتم های W شبیه پرهای غاز زمستانی هستند و تحت تأثیر گرانش به زمین می افتند. به آهستگی، اتم های W در سوراخ های عبوری رسوب می کنند و در نهایت سوراخ های کامل را پر می کنند تا اتصالات فلزی ایجاد شود. آیا علاوه بر رسوب اتم های W در سوراخ های عبوری، روی سطح ویفر نیز رسوب می کنند؟ بله قطعا. به طور کلی، می توانید از فرآیند W-CMP استفاده کنید، که ما آن را فرآیند آسیاب مکانیکی برای حذف می نامیم. این شبیه به استفاده از جارو برای جارو کردن زمین پس از برف سنگین است. برف روی زمین جارو می شود، اما برف در سوراخ روی زمین باقی می ماند. پایین، تقریباً همینطور.