استفاده از تنگستن hexafluoride (WF6)

تنگستن هگزا فلوئورید (WF6) از طریق یک فرآیند CVD روی سطح ویفر قرار می گیرد ، سنگرهای اتصال فلزی را پر می کند و اتصال فلزی بین لایه ها را تشکیل می دهد.

بیایید ابتدا در مورد پلاسما صحبت کنیم. پلاسما نوعی ماده است که عمدتاً از الکترونهای آزاد و یونهای شارژ تشکیل شده است. این امر به طور گسترده ای در جهان وجود دارد و اغلب به عنوان چهارمین ماده ماده در نظر گرفته می شود. به آن حالت پلاسما گفته می شود ، همچنین "پلاسما" نامیده می شود. پلاسما دارای هدایت الکتریکی بالایی است و اثر اتصال قوی با میدان الکترومغناطیسی دارد. این گاز تا حدی یونیزه شده است که از الکترونها ، یون ها ، رادیکال های آزاد ، ذرات خنثی و فوتون تشکیل شده است. پلاسما خود یک مخلوط خنثی الکتریکی است که حاوی ذرات جسمی و شیمیایی فعال است.

توضیح ساده این است که تحت عمل انرژی بالا ، مولکول بر نیروی ون در والس ، نیروی پیوند شیمیایی و نیروی کولوم غلبه می کند و نوعی از برق خنثی را به عنوان یک کل ارائه می دهد. در همان زمان ، انرژی بالایی که توسط خارج از کشور منتقل می شود ، سه نیروی فوق را غلبه می کند. عملکرد ، الکترون ها و یون ها یک حالت آزاد را ارائه می دهند ، که می تواند به صورت مصنوعی تحت مدولاسیون یک میدان مغناطیسی ، مانند فرآیند اچینگ نیمه هادی ، فرآیند CVD ، PVD و فرآیند IMP استفاده شود.

انرژی بالا چیست؟ از نظر تئوری ، هر دو از درجه حرارت بالا و فرکانس بالا می توان استفاده کرد. به طور کلی ، دستیابی به دمای بالا تقریباً غیرممکن است. این نیاز دما خیلی زیاد است و ممکن است نزدیک به دمای خورشید باشد. دستیابی به این روند در اصل غیرممکن است. بنابراین ، این صنعت معمولاً از RF با فرکانس بالا برای دستیابی به آن استفاده می کند. RF پلاسما می تواند به 13 مگاهرتز+برسد.

تنگستن hexafluoride تحت عمل یک میدان الکتریکی پلاسما می شود و سپس بخار توسط یک میدان مغناطیسی سپرده می شود. اتمهای W شبیه به پرهای غاز زمستانی هستند و تحت عمل گرانش به زمین می افتند. به آرامی ، اتمهای W از طریق سوراخ ها به داخل سوراخ می شوند و سرانجام از طریق سوراخ ها پر می شوند تا اتصال فلزی ایجاد شود. علاوه بر واریز اتم های W در سوراخ ها ، آیا آنها نیز روی سطح ویفر قرار می گیرند؟ بله ، قطعاً به طور کلی ، شما می توانید از فرآیند W-CMP استفاده کنید ، این همان چیزی است که ما آن را فرآیند سنگ زنی مکانیکی می نامیم تا حذف شود. شبیه به استفاده از جارو برای جارو کردن کف بعد از برف سنگین است. برف روی زمین از بین می رود ، اما برف موجود در سوراخ روی زمین باقی خواهد ماند. پایین ، تقریباً همان.