موارد استفاده از تنگستن هگزا فلوراید (WF6)

هگزا فلوراید تنگستن (WF6) از طریق فرآیند CVD بر روی سطح ویفر رسوب می‌کند، ترانشه‌های اتصال فلزی را پر می‌کند و اتصال فلزی بین لایه‌ها را تشکیل می‌دهد.

بیایید ابتدا در مورد پلاسما صحبت کنیم.پلاسما شکلی از ماده است که عمدتاً از الکترون های آزاد و یون های باردار تشکیل شده است.این به طور گسترده در جهان وجود دارد و اغلب به عنوان حالت چهارم ماده در نظر گرفته می شود.به آن حالت پلاسما می گویند که «پلاسما» نیز نامیده می شود.پلاسما رسانایی الکتریکی بالایی دارد و اثر جفت شدن قوی با میدان الکترومغناطیسی دارد.این یک گاز نیمه یونیزه است که از الکترون ها، یون ها، رادیکال های آزاد، ذرات خنثی و فوتون ها تشکیل شده است.پلاسما خود یک مخلوط الکتریکی خنثی است که حاوی ذرات فعال فیزیکی و شیمیایی است.

توضیح ساده این است که تحت اثر انرژی بالا، مولکول بر نیروی واندروالس، نیروی پیوند شیمیایی و نیروی کولن غلبه می کند و شکلی از الکتریسیته خنثی را به طور کلی ارائه می دهد.در عین حال، انرژی بالایی که از بیرون منتقل می شود بر سه نیروی فوق غلبه می کند.تابع، الکترون‌ها و یون‌ها حالتی آزاد دارند که می‌توان به طور مصنوعی تحت مدولاسیون یک میدان مغناطیسی، مانند فرآیند اچینگ نیمه‌رسانا، فرآیند CVD، فرآیند PVD و IMP استفاده کرد.

انرژی بالا چیست؟در تئوری، هر دو درجه حرارت بالا و فرکانس بالا را می توان RF استفاده کرد.به طور کلی، رسیدن به دمای بالا تقریبا غیرممکن است.این نیاز به دمای خیلی زیاد است و ممکن است نزدیک به دمای خورشید باشد.اساساً دستیابی به آن در این فرآیند غیرممکن است.بنابراین، صنعت معمولا برای دستیابی به آن از RF فرکانس بالا استفاده می کند.RF پلاسما می تواند به 13 مگاهرتز + برسد.

هگزا فلوراید تنگستن تحت تاثیر میدان الکتریکی پلاسمایی می شود و سپس توسط میدان مغناطیسی به بخار رسوب می کند.اتم های W شبیه پرهای غاز زمستانی هستند و تحت تأثیر گرانش به زمین می افتند.به آهستگی، اتم های W در سوراخ های عبوری رسوب می کنند و در نهایت سوراخ های کامل را پر می کنند تا اتصالات فلزی ایجاد شود.آیا علاوه بر رسوب اتم های W در سوراخ های عبوری، روی سطح ویفر نیز رسوب می کنند؟بله قطعا.به طور کلی، می توانید از فرآیند W-CMP استفاده کنید، که ما آن را فرآیند آسیاب مکانیکی برای حذف می نامیم.این شبیه به استفاده از جارو برای جارو کردن زمین پس از برف سنگین است.برف روی زمین جارو می شود، اما برف در سوراخ روی زمین باقی می ماند.پایین، تقریباً همینطور.


زمان ارسال: دسامبر-24-2021

پیام خود را برای ما ارسال کنید: